2025年新春伊始，御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司自主研發(fā)的國內(nèi)首臺滿足90nm以上制程掩模圖形缺陷檢測設(shè)備Raptor-500正式發(fā)運并交付國內(nèi)領(lǐng)先掩模版制造廠商。該設(shè)備的成功交付，標志著御微半導(dǎo)體在核心檢測設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵突破，為成熟制程掩模質(zhì)量控制提供極具競爭力的國產(chǎn)化解決方案。

破解“絕對零缺陷”難題，守護半導(dǎo)體制造“母版”

掩模版，又稱“光罩”或“Photomask”，是集成電路光刻工藝的“母版”，其質(zhì)量直接影響晶圓良率。單個掩模圖形缺陷即可導(dǎo)致整批晶圓報廢，因此掩模版圖形缺陷檢測設(shè)備需實現(xiàn)關(guān)鍵缺陷100%的檢出率。Raptor-500基于御微在高精密半導(dǎo)體光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)積淀，創(chuàng)新融合“高分辨率透射+反射雙光路同步紫外成像技術(shù)”,“納米級運動控制技術(shù)“及”超大規(guī)模圖像計算技術(shù) ”，可精準識別掩模版制造及光刻工藝使用周期中的圖形缺陷與污染物，滿足掩模廠與晶圓廠的全鏈條質(zhì)控需求。

御微半導(dǎo)體首臺掩模版圖形缺陷檢測設(shè)備Raptor-500

雙場景應(yīng)用，覆蓋掩模版全生命周期

掩模制造場景：在新掩模版制作完成后及返修清潔環(huán)節(jié)，Raptor-500可快速篩查圖形缺陷，指導(dǎo)客戶后續(xù)修復(fù)及清洗工序，避免因漏檢關(guān)鍵缺陷導(dǎo)致的下游客戶晶圓報廢，顯著提升掩模版出貨質(zhì)量，降低客戶生產(chǎn)成本。

晶圓生產(chǎn)場景：通過監(jiān)控掩模版入廠狀態(tài)及定期健康狀態(tài)檢測，提前預(yù)警污染及霧狀缺陷（Haze）風(fēng)險，助力產(chǎn)線光刻工藝良率，保障晶圓制造穩(wěn)定性。

御微掩模全生命周期質(zhì)量控制產(chǎn)品布局

降本增效，構(gòu)建國產(chǎn)檢測生態(tài)閉環(huán)

御微半導(dǎo)體作為國內(nèi)特色深耕掩模質(zhì)量控制的高新技術(shù)企業(yè)，持續(xù)布局“掩模全生命周期質(zhì)控”全面解決方案，以滿足掩模制造及晶圓生產(chǎn)需求。御微先后發(fā)布了i6R系列產(chǎn)品（掩模出貨及光刻前后質(zhì)量控制）及Halo系列產(chǎn)品（空白基版質(zhì)量控制），并已逐步成為行業(yè)相關(guān)工序的標桿裝備。本次發(fā)運的Raptor-500是御微掩模質(zhì)量控制的第三款核心設(shè)備，Raptor-500與i6R及Halo產(chǎn)品協(xié)同，提供從基版到成品的“一站式掩模零缺陷”解決方案。Raptor產(chǎn)品系列采用模塊化架構(gòu)設(shè)計兼具高性能，高產(chǎn)率及高延展性，可分擔(dān)高成本設(shè)備產(chǎn)能壓力，幫助客戶降低運營成本，并可長期為客戶制程升級提供價值。

御微使命，國產(chǎn)替代進程再加速

御微Raptor產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理聶秋平表示：“Raptor-500產(chǎn)品可以為業(yè)界提供滿足成熟制程需求的掩模版圖形缺陷檢測解決方案。該設(shè)備填補了相關(guān)檢測設(shè)備的長期市場空白，并且可用更有競爭力的成本替換客戶現(xiàn)有設(shè)備產(chǎn)能，從而降低客戶運營成本，提升客戶產(chǎn)品競爭力?！?/span>

御微公司總經(jīng)理王帆博士稱：“我們很高興可以為廣大掩模版以及晶圓制造客戶提供一款極具競爭力的掩模版質(zhì)量管控設(shè)備。Raptor-500產(chǎn)品是御微在掩模全生命周期質(zhì)量控制整體解決方案中重要的一環(huán)，配合i6R和Halo形成一站式掩模零缺陷檢測監(jiān)管和質(zhì)量控制標準，能夠更好地為產(chǎn)業(yè)客戶提供價值。”

大鵬展翅，御風(fēng)而行

御微將持續(xù)加大研發(fā)投入，深入剖析客戶痛點和需求，不斷開發(fā)出滿足客戶要求的新產(chǎn)品，夯實掩模版全生命周期質(zhì)量管控產(chǎn)品線，填補國內(nèi)相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的空白，為廣大客戶創(chuàng)造更高價值。

關(guān)于御微半導(dǎo)體

御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司聚焦半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備研發(fā)，致力于為晶圓制造、掩模版制造及封裝領(lǐng)域提供高精度解決方案。公司已獲多項國家級專精特新企業(yè)認證，產(chǎn)品覆蓋國內(nèi)主流半導(dǎo)體廠商，設(shè)備累計出貨量超百臺。

撰稿：歸文斌