高靈敏度： 采用高NA，低像差的高性能成像系統(tǒng)
工藝適應(yīng)性：寬光譜光源且可加偏振，對FinFET制程具有良好的工藝適應(yīng)性
極佳CoO：超精高速運(yùn)動平臺配合高性能量測算法
用戶友好：自動量測模式選擇，自動處方生成，節(jié)約處方生成時間
工廠自動化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動化需求
微信公眾號
合肥地址：安徽省合肥市高新區(qū)華佗巷469號1號樓
上海地址：中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)祖沖之路899號11棟
合肥電話：0551-65116087
上海電話：021-50935077
Email: [email protected]