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語(yǔ)言版本:EN

掩模版缺陷檢測(cè)設(shè)備

生產(chǎn)線常見(jiàn)缺陷檢測(cè)

高分辨率、高檢出率、高產(chǎn)率、顆粒清潔、工廠自動(dòng)化

特點(diǎn)場(chǎng)景

高分辨率:采用高分辨率成像系統(tǒng),提升顆粒探測(cè)靈敏度至微米量級(jí)

高檢出率:配置多種照明模式,提高不同缺陷檢測(cè)工藝適應(yīng)性

高產(chǎn)率:配備3個(gè)獨(dú)立SMIF版庫(kù)、提高設(shè)備產(chǎn)率

顆粒清潔:配置氣浴模塊,可清潔玻璃表面顆粒

工廠自動(dòng)化:支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn),全面滿足工廠自動(dòng)化需求

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