高分辨率：采用高分辨率成像系統(tǒng)，提升顆粒探測(cè)靈敏度至微米量級(jí)
高檢出率：配置多種照明模式，提高不同缺陷檢測(cè)工藝適應(yīng)性
高產(chǎn)率：配備3個(gè)獨(dú)立SMIF版庫(kù)、提高設(shè)備產(chǎn)率
顆粒清潔：配置氣浴模塊，可清潔玻璃表面顆粒
工廠自動(dòng)化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動(dòng)化需求
高分辨率、高檢出率、高產(chǎn)率、顆粒清潔、工廠自動(dòng)化
高分辨率：采用高分辨率成像系統(tǒng)，提升顆粒探測(cè)靈敏度至微米量級(jí)
高檢出率：配置多種照明模式，提高不同缺陷檢測(cè)工藝適應(yīng)性
高產(chǎn)率：配備3個(gè)獨(dú)立SMIF版庫(kù)、提高設(shè)備產(chǎn)率
顆粒清潔：配置氣浴模塊，可清潔玻璃表面顆粒
工廠自動(dòng)化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動(dòng)化需求
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