高效率：采用高速同步運(yùn)動控制技術(shù)，全方位滿足IC產(chǎn)品高效檢測需求
高檢出率：基于特征機(jī)器學(xué)習(xí)算法有效識別細(xì)微缺陷，提高缺陷檢出率
智能性：提供處方輔助編輯功能，提升人員效率，縮短新產(chǎn)品導(dǎo)入周期
全面性：支持IC各工序的全自動檢驗(yàn)，具備良好的物料兼容性
工廠自動化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動化需求
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