高靈敏度： 采用高NA，低像差的高性能成像系統(tǒng)
工藝適應(yīng)性：寬光譜光源且可加偏振，對(duì)FinFET制程具有良好的工藝適應(yīng)性
極佳CoO：超精高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)配合高性能量測(cè)算法
用戶友好：自動(dòng)量測(cè)模式選擇，自動(dòng)處方生成，節(jié)約處方生成時(shí)間
工廠自動(dòng)化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動(dòng)化需求
高精度、高產(chǎn)率、高重復(fù)性、高適應(yīng)性、用戶友好、工廠自動(dòng)化
高靈敏度： 采用高NA，低像差的高性能成像系統(tǒng)
工藝適應(yīng)性：寬光譜光源且可加偏振，對(duì)FinFET制程具有良好的工藝適應(yīng)性
極佳CoO：超精高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)配合高性能量測(cè)算法
用戶友好：自動(dòng)量測(cè)模式選擇，自動(dòng)處方生成，節(jié)約處方生成時(shí)間
工廠自動(dòng)化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動(dòng)化需求
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